標(biāo)題：微電子機(jī)械面涂層或表面處理技術(shù)科研顯微鏡
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作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2016-7-12 16:07:12
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正文:
微電子機(jī)械面涂層或表面處理技術(shù)科研顯微鏡
——利用表面涂層或表面處理技術(shù)可使一些由于接觸經(jīng)受摩擦和磨
損的零件的使用壽命大大延長．依賴于這種方法使用薄膜的技術(shù)有內(nèi)燃
機(jī)、人工髖關(guān)節(jié)和膝關(guān)節(jié)植入物．以及磁數(shù)據(jù)存儲的計(jì)算機(jī)硬盤．
——薄膜材料是許多用作傳感器或作動器的微電子機(jī)械系統(tǒng)必不可
缺的部分例如，沉積在硅膜上的壓電或壓阻薄膜能被用來電子檢測作用
于其表面的壓力引起的或它支撐的加速度引起的薄膜撓度．基于薄膜技
術(shù)的器件可用作助聽器的麥克風(fēng)、運(yùn)動過程中的血壓監(jiān)測器、光學(xué)顯示
系統(tǒng)中柔性支撐上的電子定位薄膜鏡面和探測果實(shí)成熟度的探頭．
大量其他技術(shù)依賴于薄膜行為．根據(jù)前面的舉例得到的一個(gè)直接觀
察結(jié)果是在這些應(yīng)用中薄膜組分的主要功能通常不是結(jié)構(gòu)性的．因此，
承載能力對設(shè)計(jì)或材料選擇來講也許不需主要考慮．不過，薄膜組態(tài)的
加工通常在薄膜中導(dǎo)致足夠大的內(nèi)應(yīng)力，從而造成機(jī)械變形、損傷或失
效，即使當(dāng)承載能力作為功能特征是次重要時(shí)．薄膜結(jié)構(gòu)中應(yīng)力驅(qū)使失
效的傾向也不利于薄膜與系統(tǒng)的結(jié)合．薄膜結(jié)構(gòu)中內(nèi)應(yīng)力的存在也可以
影響功能器件的電學(xué)或磁學(xué)性能．
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
特別聲明：本文出自北京上光儀器有限公司-未經(jīng)允許請勿轉(zhuǎn)載，本文地址：http://www.bjsgyq.com/news/8629.html
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