點(diǎn)擊查看產(chǎn)品參數(shù)和報(bào)價(jià)--丨--

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正文:
用于表面輪廓檢測(cè)的共聚焦系統(tǒng)的工作方式相當(dāng)于一個(gè)在待測(cè)
表面上進(jìn)行掃描的焦點(diǎn)探測(cè)系統(tǒng)。在一些情況下,比如使用信號(hào)的
重心或者用多項(xiàng)式擬合取代簡(jiǎn)單的最大輻射位置來(lái)確定信號(hào)的位置
,信號(hào)軸向點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)的位置通?梢源_定下來(lái)。軸向點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)
的寬度和樣品等級(jí)也會(huì)對(duì)確定信號(hào)位置的一致性產(chǎn)生影響,進(jìn)而影
響到垂直分辨力。軸向信號(hào)越窄,垂直分辨力就越好,這是因?yàn)樽?/div>
佳垂直分辨力依賴于物鏡的NA及放大率。表面輪廓的垂直分辨力通
常定義為差值測(cè)量的RMS值。垂直分辨力還決定了被測(cè)樣品上能夠
測(cè)量到的最小高度。
對(duì)于光滑表面而言,垂直分辨力在幾個(gè)納米量級(jí),但只針對(duì)高
倍率物鏡。對(duì)于低放大倍率的物鏡,垂直分辨力大概在10~15nm至
微米量級(jí)。這種垂直分辨力通常也稱為方法靈敏度。
共焦顯微鏡通常用來(lái)測(cè)量透明膜層的厚度,其處理方法稱為光
學(xué)限幅。光線透過(guò)物體,在膜層界面發(fā)生反射,從而產(chǎn)生額外的軸
向響應(yīng)。共焦顯微系統(tǒng)的光學(xué)限幅技術(shù)常常用來(lái)對(duì)諸如
生物細(xì)胞、
半導(dǎo)體工業(yè)中的透明涂層進(jìn)行測(cè)量。在這些情況下,垂直分辨力也
有了不同的定義,其定義要適用于可測(cè)量的光學(xué)厚度
軸向垂直分辨力的定義基于信號(hào)的垂直兩點(diǎn)的分辨力,而軸向信
號(hào)的寬度又決定了這個(gè)分辨力,這種情況下,軸向垂直分辨力也就
是最小可測(cè)量的光學(xué)厚度。對(duì)于大NA的物鏡,光學(xué)限幅的垂直分辨
力可達(dá)到1.5微米,這比與測(cè)量臺(tái)階高度相關(guān)的垂直分辨力要大得
多。
出自http://www.bjsgyq.com/
北京顯微鏡百科
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