標題：實驗室顯微鏡比較量塊的形狀具有兩面拋光測量面
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2015-9-17 12:13:36
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正文:
除主基準外，述有線紋尺與量塊之類的次等基準．通過
利用波長高準確度檢定過的長度量塊中間基準與工廠或?qū)嶒?/div>
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
室量具進行具體比較量塊的形狀為具有兩面拋光測量面的
矩形平行六面體，并可相互研合．
干涉法可保證長度量塊鑒定的最高準確度．按檢定誤
對溫度、壓力與空氣濕度，對量塊與工作臺的溫度差，
對量塊及與之研合的乎晶材料的差別引入修正量后，以0．02
-O．03μm 的誤差測量量塊是可能的．
對單色儀的入射狹縫的寬度應(yīng)予以特殊修正．
由于基本干涉條紋偏離光源個別點，光源的有限
尺寸會使干涉條紋可見度降低．合成干涉條紋的可見度不僅
是降低了的，而且，即使本二F涉儀及其它干涉儀中對光源中
心的光程差是計算恰當?shù)模泊嬖谥c光源中心對應(yīng)的基本
干涉條紋相對偏移．
大多數(shù)光學(xué)表面都是用樣板檢驗的．然而，樣板法要求
基準表面與被檢表面直接接觸，這在某些情況下是辦不到
的．有時，對檢驗準確度的要求更高，所以，在光學(xué)工業(yè)
中，與樣板法的同時，還采用按不接觸法檢驗表面的各種干
涉儀．
觀測環(huán)時的表面局部誤差是難以識別的．為便予測量，
建議移動透鏡來重調(diào)干涉儀，以觀察大體上是直條紋并根據(jù)
其畸變來評定局部誤差．這時，測量誤差將不大予O．1個干
涉條紋．
當空氣隙厚度在15 mm以下時，汞燈可給出可見度足夠
高的圖樣．這就意昧著，用一面基準彎月形透鏡足可檢驗半
徑相互差別不大于15mm的表面．若以數(shù)面彎月形透鏡作為
儀器配套器件，則測量范圍可顯著擴大．被檢凸球面曲率半
徑與直徑的極限值決定于物鏡工作區(qū)間的量
值及其相對孔徑
測量微觀不平度高度用的干涉儀
度或加工遺痕用的干涉儀稱為顯微干涉儀．如同平面度檢驗
一樣，微觀不平度高度也是根據(jù)等厚干涉條紋的變形來進行
測量的．不過，用于觀測微小不平度的光學(xué)儀器，其倍率要
大，分辨率要高．因此，顯微干涉儀是邁克爾遜型干涉儀
(較少用斐索型)及顯微鏡的組合
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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