標(biāo)題：表面微粒測(cè)量工具顯微鏡表面膜結(jié)構(gòu)輪廓儀
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2014-12-30 14:17:03
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正文:
為了得到鍍層工藝——結(jié)構(gòu)——性能的關(guān)系，知道鍍
層整體的相能成僅是其第一步，更重要的是知道其顯微
結(jié)構(gòu)，這就需要利用各種微區(qū)結(jié)構(gòu)分析方法。
低能電子衍射是分析表面晶體結(jié)構(gòu)的重要方法。所用
的一次電子束能量為50-500eV。當(dāng)一次電子束能量在
50eV以下時(shí)，衍射電子大部分來(lái)自最表面原子層。
低能電子衍射可用來(lái)研究氣相沉積的成核和生長(zhǎng)，氧化
膜的生成、表面擴(kuò)散、氣體吸附和表面化學(xué)反應(yīng)。這種
方法也有其局限性，首先是限于單晶基體，其次，其衍
射花樣的解釋十分復(fù)雜。
反射式高能電子衍射在一定程度上克服了上述缺點(diǎn)。
但由于高能電子（-100cV）的穿透深度較大，得出的并
不是真正的表面信息。然而，在許多材料科學(xué)研究中，
這種方法仍是十分有用的。例如，研究外延生長(zhǎng)，表面
微粒，表面膜結(jié)構(gòu)等。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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