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打開管殼當檢測封裝好的器件時,打開封裝有時是很麻煩
的,并且如果不注意的話,則在檢查之前管芯就會被破壞.管殼的
類型有許多種,通常分為金屬、陶瓷和塑料.打開金屬外殼可以采
用微型研磨機、砂皮、銼刀,而對非常薄的管殼甚至可以用刀片.為
了夾住管殼,要用老虎鉗或夾頭.在操作時要十分小心以防止微
粒自管殼或刀具落到半導體的表面(在管殼上發(fā)現(xiàn)數(shù)量可觀的
“假的微!,它的成份與小刀和攝子相同).陶瓷管殼通常有一個
蓋子,這種蓋子無論用小刀或斜口刀都能相當容易地打開,這樣的
操作容易弄碎半導體材料;因此在嘗試打開感興趣的器件之前最
好先在一個廢的器件上練習.塑料管殼(通常為環(huán)氧或硅酮)原則
上能被溶解或至少能被軟化,因而可以被拉掉.至于具體的溶劑,
可根據(jù)塑料制造商的說明.事實上,所有這些封裝都可以在熱的
硫酸中除去.酸必須千燥是很重要的,否則金屬化鋁膜在這個過
程中會被除掉.在使用前沸騰幾分鐘可以提供相當干燥的酸.
當管殼或者至少管殼頂部已經(jīng)被除去以后,仍然可能有一厚
層沉積的二氧化硅覆蓋在表面上使得檢測困難.這些氧化物在
HF中幾乎總是比熱氧化物溶解得更迅速,因此可把它們除去,除
非顯著的過腐蝕,否則對下面的器件損傷很少.對于沉積在金屬化
層上的氧化物,可以用一個擦子,最好是用電擦來除去.
出自http://www.bjsgyq.com/
北京顯微鏡百科