標題：自顯影樣品的制備及觀察-倒置熒光顯微鏡觀察樣品
信息分類:站內新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2013-11-2 20:06:27
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正文:
自顯影樣品的制備及觀察-倒置熒光顯微鏡觀察樣品實驗
顯影：
所謂顯影，以正光阻而言，就是將曝光時有受光的光阻以顯影液
洗去，留下未受光的光阻于基板上。各種光阻所使用之顯影液不同，
以本實驗而言，AZ1500 所使用的光阻顯影液為 AZ300MIF。
1. 顯影時間：若時間太短，則受曝光的光阻會有殘留；若時間太長，
則未受曝光的光阻也會被洗掉。
2. 欲顯影樣本之線寬：一般而言，線寬越寬，顯影時間越長。
3. 顯影時是否搖晃：搖晃會加快顯影速度，但將使得顯影時間不易
控制，且容易使所有的光阻都被洗去；但若不搖晃，光阻易停留
在樣本表面，不易散去。因此建議輕微晃動樣本，以減少實驗上的誤差
.曝光：
曝光所使用之波長與曝光時間取決于所使用之光阻。
用之光阻皆是以 I-line 紫外光來曝光。
光組為 AZ1500 其曝光時間為4 秒
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科