標(biāo)題：專業(yè)應(yīng)用于量測(cè)塊材材料性質(zhì)的儀器設(shè)備門市-金相分析
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2013-9-24 17:20:35
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正文:
專業(yè)應(yīng)用于量測(cè)塊材材料性質(zhì)的儀器設(shè)備門市-金相分析
例如：化學(xué)氣相沉積、物理氣相沉積、高溫爐 管或電鍍，都顯示其潛在的
非均勻性，導(dǎo)致整片基板的薄膜厚度、殘留應(yīng)力及材料性質(zhì)分布有所差異。
薄厚膜材料除了重視電的性質(zhì)外，熱與力方面的材料性質(zhì)則是攸關(guān)制程成敗
或元件系統(tǒng)特性的 關(guān)鍵要素，尤其是應(yīng)用在微結(jié)構(gòu)的制作上。
雖然已有許多用來量測(cè)塊材材料性質(zhì)的儀器設(shè)備及方 法，但這些卻不見得適
用于薄厚膜材料的量測(cè)，即使目前使用在薄厚膜材料的儀器，所用的方法也不
見得簡(jiǎn)易方便，試片的準(zhǔn)備也大費(fèi)周章，而且大部分需使用到昂貴的儀器及特
殊之周邊輔助治具。
雖然對(duì)于如何量測(cè)薄厚膜材料性質(zhì)的研究及文獻(xiàn)記載有相當(dāng)多，然而由文獻(xiàn)中
發(fā)現(xiàn)，若要對(duì)一 種材料同時(shí)進(jìn)行其數(shù)種性質(zhì)量測(cè)及行為觀察分析，這樣的測(cè)
試方法及儀器卻十分稀少。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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