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正文:
高解析度的設(shè)計(jì)專(zhuān)業(yè)研究
金相顯微鏡
雖然掃描探針
顯微鏡能夠具要原子級(jí)解析能力的關(guān)鍵之一,是在于應(yīng)用壓電陶瓷材料為作定位平臺(tái)的驅(qū)動(dòng)器,
使得在定位方面可以有較高的解析度,但是高解析度與長(zhǎng)行程卻是相反的設(shè)計(jì)考量,
所以?huà)呙杼结橈@微鏡只應(yīng)用壓電平臺(tái)而無(wú)其他的輔助工具,在試樣的準(zhǔn)備上就必須要先將欲掃描區(qū)域
切割成符合壓電平臺(tái)X、Y 軸行程的范圍,而這個(gè)范圍為50 μm 到200 μm 的正方格,是頭發(fā)的0.5 倍
至2 倍,在試樣條件上,這是一個(gè)嚴(yán)苛的條件,在實(shí)際的工業(yè)應(yīng)上,
也將是一個(gè)非常嚴(yán)重的致命傷,所以加入長(zhǎng)行程定位平臺(tái)是要其相當(dāng)?shù)谋匾?nbsp;
長(zhǎng)行程定位平臺(tái)的基本功能,就是要有定位(Positioning)的效果,也就是要能夠?qū)⒃嚇踊蛱结槪?nbsp;
與參考目標(biāo)的相對(duì)位置之距離差保持一定,但是在實(shí)際的應(yīng)用上,定位的誤差是會(huì)受到很多的環(huán)境因素,
或是本身設(shè)計(jì)因素考量的影響,所以針對(duì)應(yīng)用于掃描探針顯微鏡而言,定位平臺(tái)系統(tǒng)的解析度與定位平臺(tái)的工作行
程,是設(shè)計(jì)整體長(zhǎng)行程定位系統(tǒng)重要的條件,然而隨著定位平臺(tái)的行程越大,
由于誤差的累積,定位平臺(tái)所能達(dá)到的定位精度就會(huì)大幅的降低,自然就會(huì)影響到系統(tǒng)的解析度;
另外要達(dá)到高解析度的設(shè)計(jì)考量,更精密的位置感測(cè)器、位置閉回路控制與嚴(yán)格的環(huán)境要求是必要的
出自http://www.bjsgyq.com/
北京顯微鏡百科
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