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標題：光學式顯微鏡量測結(jié)果與理論值誤差在7.5%內(nèi)

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正文:

光學式顯微鏡量測結(jié)果與理論值誤差在7.5%內(nèi)

光學式表面超音波激發(fā)與量測技術(shù)可應(yīng)用于薄膜材料性質(zhì)的量測，

是一種非接觸與非破壤式的材料性質(zhì)檢測方法。

介紹光學式表面超音波激發(fā)與量測技術(shù)的應(yīng)用需求、操作原理、實驗架構(gòu)并驗證此架構(gòu)的可行性。

實驗架構(gòu)上，超音波激發(fā)的部分采用脈衝雷射激發(fā)，量測部分則采用Mirau干涉顯微鏡。

實驗結(jié)果表明，此實驗架構(gòu)確定可以收到具有頻散效應(yīng)的超音波訊號，并可應(yīng)用于薄膜楊氏模數(shù)的量測。

以100μm不銹鋼單層簿膜為試片，透過光學式超音波激發(fā)與偵測重複實驗6次，量測結(jié)果與理論值誤差在7.5%以內(nèi)，

與接觸式量測誤差在18%以內(nèi)比較，驗證了Mirau干涉顯微鏡量測超音波的可行性，以及良好的重現(xiàn)性。

出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科

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