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正文:
光罩圖樣以投影方式直接加工基材簡(jiǎn)介
一種為光罩投影(mask projection):其加工模式是利用激光
透過光罩圖樣以投影方式直接加工基材。
另一種為
聚焦直寫(direct writing):其加工模式是利用激光透過任意選取
的光圈,運(yùn)用 CNC code 程式以單點(diǎn)方式直接刻除基材上欲設(shè)計(jì)之圖
樣(a)Mask Projection (b)Direct Write
藉由CNC系統(tǒng)控制工件與光罩平臺(tái)的相對(duì)運(yùn)動(dòng),并配合激光重複
率(repetition rate)、能量密度(fluency)、及透鏡的數(shù)值孔徑
(numerical aperture,NA)的設(shè)定,可控制激光照射工件表面的
劑量(dose)與入射角度,使得特殊的3D為結(jié)構(gòu)得以實(shí)現(xiàn)。
表示以控制工件平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)型態(tài)進(jìn)行曲面、多層、斜面結(jié)構(gòu)的加工,
其原理是利用不同的工件運(yùn)動(dòng)型態(tài)控制激光劑量。
此外利用光罩圖樣的設(shè)計(jì),配合工件與光罩平臺(tái)的相對(duì)運(yùn)動(dòng),也可以獲得特殊的微
結(jié)構(gòu),光罩拖拉(mask dragging)加工的技巧,這個(gè)技巧其實(shí)也就
是固定光罩而移動(dòng)工件平臺(tái)的加工方式,故也稱為移動(dòng)工件(moving
work piece)加工。中顯示在固定T形光罩與移動(dòng)工件的
加工過程當(dāng)中,T形的中間部份因接受較翼臂多的激光劑量,故導(dǎo)致
兩層的溝槽產(chǎn)生。
出自http://www.bjsgyq.com/
北京顯微鏡百科
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