標(biāo)題：光學(xué)自準(zhǔn)直儀簡介_自準(zhǔn)直儀器產(chǎn)品列表
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2012-11-30 15:23:23
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正文:
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光學(xué)自準(zhǔn)直儀所量測的值可以是角度，需要量測直線度或平面度的話，需要將角度值乘上
每次反射鏡的移動位移量，求出各點的高度差之后，再用最小平方法將各點在基準(zhǔn)線的高
度值求出來。最后亦可用類似方式記計算出待測物之平面度。
角度量測：
角度量測可以不像長度量測一樣需要一個量測基準(zhǔn)，我們可以將一個直接定義為 360 度或
2π 弳度，再將這個圓分割成所需要的等分，例如將一度續(xù)分為 60 分，一分續(xù)分為60秒。
實際上的角度量測仍然必須利用長度比例來換算，例如：
１．一個 θ 角所對的弧長為 r θ， r 為此圓之半徑，當(dāng) θ很小時，此對應(yīng)之圓弧即趨近
于直線，角為弳度表示方式。
２．利用三角幾何原理來求角度，例如正弦桿即是，一般正弦桿長度為100mm ，
且經(jīng)過精密校正，則由以上可知，長度量測的精度，直接影響角度量測的精度。
人的眼睛一般角度分辨的極限能力是一分，如果在明視距離下，換算成長度
單位大約為：
塊規(guī)的量測精度：1 μm
假設(shè)正弦桿非常精密，本身長度誤差不考慮。
此為正弦桿量測精度的極限，實際上的測量誤差必然比值還高。
常見的比正弦桿測量更精密的角度測量儀，首推自動對準(zhǔn)儀。
光電式自動對準(zhǔn)儀精度可達(dá) 0.1 sec 但其測量范圍不大，必須配合其他角
度量測儀具一起進(jìn)行角度量測。
光學(xué)上大都利用幾何光學(xué)的方式進(jìn)行輪廓測定其解析度限制大都為光學(xué)系
統(tǒng)本身之誤差一個物體經(jīng)過透鏡成像后，可得到放大或縮小的影像但此影像
與原來的物體相比較。
光學(xué)自準(zhǔn)直儀用于平臺平面度之量測與校正:
首先量出平臺上各點與基準(zhǔn)點之間之高度差。
取點方式有二：
１．對角法
２．網(wǎng)目法
兩個理想平行平面之傾斜角如果調(diào)整適當(dāng)，則兩平行距離減少時仍然能
夠?qū)⒋郎y面完全包夾住，因此適當(dāng)?shù)男D(zhuǎn)兩平行面，最后可以得到待測
平板之平面度之值。
調(diào)整水平的方法：
反覆調(diào)整、利用探針或水準(zhǔn)氣泡來告知那一邊較高，旋轉(zhuǎn) 180 度，再
調(diào)另一邊，直到兩邊之高度相等為止再調(diào)第三點使整個面高度都相等。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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