標(biāo)題：工藝集成柵極電介質(zhì)電子焊接分析圖像顯微鏡
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作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2019-3-1 3:54:51
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正文:
工藝集成柵極電介質(zhì)電子焊接分析圖像顯微鏡
從材料角度來說，不同的應(yīng)用對材料的要求也不同。但總體來說，所
用的材料都趨向于具備低操作電壓和高載流子遷移率等的特性。為了滿足
這兩點(diǎn)要求，通常需要使用缺陷密度較低的高度秩序化有機(jī)半導(dǎo)體。因?yàn)?/div>
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
黏合劑會影響載體的傳輸性能，所以在半導(dǎo)體油墨中通常無法使用黏合劑
。
因此，總的來說，印刷晶體管在材料和印刷技術(shù)上都有諸多限制，在
具體應(yīng) 園用中也需要進(jìn)行考慮。
印刷晶體管：工藝集成
通常，打印晶體管具有兩種常見的結(jié)構(gòu)一—頂柵型結(jié)構(gòu)和底柵型結(jié)構(gòu)
。在頂柵型結(jié)構(gòu)中，首先印刷的是溝道結(jié)構(gòu)，接著是柵極電介質(zhì)和柵電極
。而在底柵型結(jié)構(gòu)中，過程則是相反的，柵電極和柵極電介質(zhì)先于溝道印
刷。兩種結(jié)構(gòu)都有各自的優(yōu)缺點(diǎn)，究竟選取哪種結(jié)構(gòu)主要取決于所采用的
材料系統(tǒng)。
1．頂柵型和底柵型晶體管結(jié)構(gòu)對比
頂柵型結(jié)構(gòu)中，半導(dǎo)體在柵極電介質(zhì)和柵電極之前優(yōu)先印刷。這種結(jié)
構(gòu)具有以下幾個(gè)優(yōu)點(diǎn)：首先，由于半導(dǎo)體是置于已知界面上的（通常來說
即襯底本身），襯底通常具有確定的化學(xué)成分，且表面非常光滑，因此可
以確保印刷半導(dǎo)體的性能。流經(jīng)晶體管的電流非�？拷雽�(dǎo)體介質(zhì)面。因
此，在頂柵型結(jié)構(gòu)的晶體管中，電流實(shí)際上就在靠近半導(dǎo)體的頂界面上流
通，這同樣也會進(jìn)一步保證生產(chǎn)出的晶體管的性能。同時(shí)，由于半導(dǎo)體層
是被電介質(zhì)和柵極所包覆的，因而可以保護(hù)半導(dǎo)體層免受后續(xù)工藝過程的
損壞。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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